深紫外全固态激光器

深紫外全固态激光器：引领技术革新与产业生态发展

深紫外全固态激光器，这一以深紫外非线性光学晶体为核心的技术，通过全固态技术实现了波长≤200nm的激光输出，为我们带来了一种先进的光源。近年来，在中国，这项技术取得了突破性的进展，并形成了一个完整的科研与产业生态。

一、技术突破与核心优势

深紫外全固态激光器在中科院的努力下，已经实现了技术上的重大突破。其中，波长的精准控制是该技术的核心优势之一。通过独创技术，中科院已经实现了193nm深紫外激光的稳定输出，其波长精度已经达到了光刻工艺的要求，为半导体制造提供了全新的解决方案。该技术的结构创新也是其优势之一。采用双谐振腔设计，如第一谐振腔的526nm→263nm倍频，第二谐振腔的725nm基频与263nm激光和频生成193nm激光，这种设计降低了变频损耗，并简化了系统的复杂性。

二、应用场景的延伸

深紫外全固态激光器技术的应用场景日益广泛。在科研装备方面，已经研制出了深紫外激光拉曼光谱仪、光发射电子显微镜等8类国际独有设备，这些设备支持材料科学、量子物理等前沿研究。在半导体制造方面，该技术已经应用于晶圆退火、缺陷检测等环节，并且已经实现了全固态准连续紫外皮秒激光器的批量交付。

三、产业链的协同发展

在深紫外全固态激光器技术的发展过程中，产业链协同发展的作用不可忽视。在科研平台方面，已经搭建了深紫外晶体、激光器研发及仪器开发三大平台，核心器件已经实现小规模量产。企业创新也在推动着技术的进步。有维光电通过双谐振腔专利优化光源结构，苏州飞博思创则通过混模光纤跳线提升光束质量。

四、未来发展方向

深紫外全固态激光器技术的发展前景广阔。中科院已经启动了二期项目，计划研制大动量极低温光电子能谱仪等6台新设备，同时推动深紫外激光技术在生物医学检测等领域的商业化应用。未来，随着技术的不断进步和产业链的不断发展，深紫外全固态激光器将会在更多领域得到应用，并产生更大的价值。我们期待着这一技术在未来的发展中，能够为我们带来更多的惊喜和突破。